“薄膜沉积”:把极薄的一层材料(薄膜)沉积到基底表面上的工艺,用于制造半导体器件、光学镀膜、太阳能电池、保护涂层等。(常见方法包括物理气相沉积、化学气相沉积等。)
/ˈθɪn fɪlm ˌdɛpəˈzɪʃən/
Thin-film deposition is used to coat glass with anti-reflective layers.
薄膜沉积用于在玻璃上镀制减反射层。
By carefully controlling temperature, pressure, and gas flow, thin-film deposition can produce uniform coatings for advanced semiconductor devices.
通过精确控制温度、压力和气体流量,薄膜沉积可以为先进半导体器件制备均匀的涂层。
该短语由三部分构成:thin(薄的)、film(薄膜/膜层)、deposition(沉积)。其中 deposition 源自拉丁语 dēpositiō,意为“放下、沉放”,在材料与化学语境中引申为“把物质沉积到表面形成层”。